在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加精确和迅速地测定一给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中虽然可以利用各种传统的方法测定光学参数（如布儒斯特角法测介质膜的折射率、干涉法测膜厚等），但椭圆偏振法（简称椭偏法）具有独特的优点，是一种较灵敏（可探测生长中的薄膜小于0.1nm的厚度变化）、精度较高（比一般的干涉法高一至二个数量级）、并且是非破坏性测量。是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法。它能同时测定膜的厚度和折射率（以及吸收系数）。因而，目前椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸方面得到较为广泛的应用。这个方法的原理几十年前就已被提出，但由于计算过程太复杂，一般很难直接从测量值求得方程的解析解。直到广泛应用计算机以后，才使该方法具有了新的活力。
